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제목	[특허]프로세스 챔버 규정 링 무효 사건(특허법원 2023허11067)
작성자	특허법원 [대전]	작성일	2024.10.31	조회	1264
첨부파일	2023허11067.pdf
【판시사항】 1. 정정사항 4 내지 7은 청구범위를 감축하는 정정에 해당하지만, 이 사건 특허발명의 명세서 또는 도면에 기재된 사항의 범위 이내에서 이루어진 정정으로 볼 수 없다고 판단한 사례 2. 보정사항 2는 이 사건 특허발명의 최초 명세서 등에 기재된 사항의 범위를 벗어나는 것으로서 신규사항의 추가에 해당한다고 판단한 사례 【판결요지】 심결취소 1. 정정청구의 적법 여부 아래 사정에 의하면, 정정사항 4 내지 7은 명세서 또는 도면에 기재된 사항의 범위 이내에서 이루어진 정정으로 볼 수 없으므로 구 특허법 제136조 제2항에 위배된다. 가. 정정사항 4, 6은 제4항 및 제16항 특허발명에 ‘하부 전극의 하부 에지 섹션의 내경(=e)’이 ‘웨이퍼의 직경(=‘f’)’보다 크다는 구성을 부가한 것이고, 정정사항 5, 7은 같은 발명에 ‘최상부 전극의 최상부 에지 섹션의 내경(=g)’이 f보다 크다는 구성을 부가한 것으로, 청구범위의 감축에 해당한다. 나. 명세서 및 도면 어디에서도 하부 에지 섹션 또는 최상부 에지 섹션의 내경(內徑, 관 따위의 안쪽에서 잰 지름)과 웨이퍼의 직경(直徑, 원이나 구 따위에서 중심을 지나는 직선으로 그 둘레 위의 두 점을 이은 선분의 길이)의 크기 관계, 즉 ‘e와 f’ 또는 ‘g와 f’의 크기 관계에 대하여 명시적으로 기재 내지 표시하고 있는 부분이 발견되지 않는다. 다. 통상의 기술자가 명세서 및 도면으로부터 ‘e가 f보다 크다’ 및 ‘g가 f보다 크다’는 내용의 기재가 있는 것과 마찬가지라고 명확하게 이해할 수 있다고 단정하기도 어렵다. 이유는 다음과 같다. 1) 명세서 및 도면의 다양한 부분에서 ‘섹션’이라는 용어를 사용하고 있으며, ‘에지’나 ‘섹션’ 부위가 도면에 표시되어 있기는 하지만, 정작 ‘하부 전극의 하부 에지 섹션’이나 ‘최상부 전극의 최상부 에지 섹션’이 어느 곳을 의미하는지 통상의 기술자가 명확하게 알 수 있을 정도의 기재나 표시는 발견되지 않는다. 2) 통상의 기술자는 ‘최상부 전극의 최상부 에지 섹션’을 ‘전력을 제공하는 최상부 전극에서 전력을 제공하지 않는 중심 영역 이외의 영역 중 가장자리에 위치한 일정한 영역’을 의미하는 것으로, ‘하부 에지 섹션’을 ‘하부 전극의 가장자리 부근에서 최상부 전극의 중심 영역 이외의 영역과 대응하는 일정한 영역’을 의미하는 것으로 파악할 수는 있다고 보이지만, 거기에서 더 나아가 해당 영역의 정확한 위치를 도면상 명확하게 특정할 수 있다고 보기는 어렵고, 결국 e와 g를 측정할 수 있는 기준 위치가 분명하게 특정되지 않는 이상 e와 f 또는 g와 f 사이의 크기 관계도 알 수 없다고 판단된다. 2. 특허발명에 신규사항 추가의 무효사유가 있는지 여부 아래 사정에 의하면, 보정사항 2는 특허발명의 최초 명세서 등에 기재된 사항의 범위를 벗어나는 것으로서 신규사항의 추가에 해당한다. 가. 특허발명에서 웨이퍼의 주변은 에칭이 수행되지 않는 ‘비활성 에칭 구역’과 에칭이 수행되는 ‘활성 에칭 구역’으로 구분되고, 구체적으로 ‘활성 에칭 구역’의 범위 조절이 ‘최상부 에칭 규정 링(110)’과 ‘저부 에칭 규정 링(120)’을 통해 구현된다. 그러나 물리적 현상의 발생 영역과 그와 같은 현상의 원인이 되는 부재의 부위는 구별되는 것이므로, ‘최상부 에칭 규정 링’과 ‘저부 에칭 규정 링’이 ‘활성 에칭 구역’의 범위를 조절하는 역할을 수행한다는 것이 곧 ‘최상부 에지 섹션과 최상부 전극의 중심 영역을 분리’하거나 ‘하부 에지 섹션과 하부 전극의 중심 부분을 분리’하는 역할을 수행한다는 것을 의미하거나 양자가 실질적으로 동일한 구성에 해당한다고 보기 어렵고, 그것이 통상의 기술자에게 자명하다고 볼 만한 뚜렷한 근거도 발견되지 않는다. 나. 피고는 에칭 규정 링이 ‘활성 에칭 구역과 비활성 에칭 구역을 분리’하는 것은 ‘에지 섹션과 중심 영역(또는 중심 부분)을 분리’하는 것과 기술적으로 밀접하게 연결되어 있으므로 통상의 기술자는 에칭 규정 링이 ‘활성 에칭 구역과 비활성 에칭 구역을 분리’한다는 기재로부터 보정사항 2를 자명하게 이해할 수 있다는 취지로도 주장한다. 그러나 다음 사정을 고려하면 피고 주장은 받아들이기 어렵다. 1) ‘에칭 영역’의 분리는 최상부 전극 중 최상부 전극의 중심 영역 이외의 부분을 통해 전력을 공급하고, 최상부 전극과 웨이퍼 사이의 간격을 조절하며 일정한 형상 내지 구조를 가진 에칭 규정 링을 배치함으로써 이루어지는데, 비록 에칭 규정 링이 ‘활성 에칭 구역과 비활성 에칭 구역을 분리’하는 데에 관여한다고 하더라도, 그와 같은 사정에 기초하여 곧바로 에칭 규정 링이 전극의 ‘에지 섹션과 중심 영역(또는 중심 부분)을 분리’하는 기능을 수행한다고 단정하기는 어렵다. 2) ‘에칭 구역 분리’와 ‘전극 부위 분리’가 기술적으로 관련이 없는 것은 아니지만 양자는 구별되는 기술적 특징 내지 사항이다. 에칭 구역이 분리되는 영역과 정확하게 대응되는 지점에서 전극의 부위가 분리된다고 단정할 수 없고, 전극의 부위가 에칭 규정 링에 의하여 분리되지 않는 경우에도 에칭 구역 분리가 발생할 수 있음은 위에서 본 바와 같다. 그렇다면 최초 명세서 등을 접한 통상의 기술자가 에칭 규정 링이 ‘활성 에칭 구역과 비활성 에칭 구역을 분리’한다는 것으로부터 전극의 ‘에지 섹션과 중심 영역(또는 중심 부분)을 분리’한다는 것까지 자명하게 인식할 수 있다고 보기는 어렵다.
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